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Alicat质量流量控制器
简要描述:应用及案例●大学/研究所●真空行业及镀膜●半导体●光伏●过程工艺气体测量产品特色数字化产品带气动截止阀
应用及案例
● 大学/研究所 ● 真空行业及镀膜 ● 半导体 ● 光伏 ● 过程工艺气体测量
产品特色
数字化产品 带气动截止阀,泄漏率低 多参数显示和输出:温度、压力、流量等 多参数控制:体积流量、质量流量和压力 标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板 可选高精度:可优于0.5% 量程比 200:1 响应时间快 仅需100ms(可调) 内置98种气体 现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气
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